一种低电阻的氧化锡基靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411072768.X

申请日：

2024-08-06

公开(公告)号：

CN118724584B

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

徐红星马厚良周贤界黄勇彪

申请人：

深圳众诚达应用材料股份有限公司

申请人地址：

518128 广东省深圳市宝安区新安街道海滨社区宝兴路6号海纳百川总部大厦A座5层

IPC主分类号：

C04B35/457

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/64

代理机构：

深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325

代理人：

姚章国

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/457申请日:20240806
2025-04-25	授权	授权
2024-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种低电阻的氧化锡基靶材及其制备方法 [P].

徐红星 ;

马厚良 ;

周贤界 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN118724584A ,2024-10-01

[2]

一种氧化锡基靶材及其制备方法 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

卢晓鹏 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN116655372B ,2024-01-26

[3]

一种氧化锡组合物及其制备方法、改性氧化锡陶瓷靶材及其制备方法 [P].

纪生晓 ;

杨涛 ;

李强 ;

林智成 ;

官凌宇 .

中国专利 :CN119751044A ,2025-04-04

[4]

一种氧化锡基靶材及其制备方法和应用 [P].

高钰航 ;

陈露 ;

葛春桥 .

中国专利 :CN117986010A ,2024-05-07

[5]

一种高密度氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法 [P].

文宏福 ;

李鹏 ;

蔡正明 .

中国专利 :CN118515477A ,2024-08-20

[6]

一种氧化锡基复合靶材及其制备方法 [P].

姚远 ;

张启华 ;

杜宝珩 ;

张莉兰 ;

王屹波 ;

蒋一昌 ;

李娜娜 .

中国专利 :CN120903932A ,2025-11-07

[7]

一种氧化锡基复合靶材及其制备方法 [P].

姚远 ;

张启华 ;

杜宝珩 ;

张莉兰 ;

王屹波 ;

蒋一昌 ;

李娜娜 .

中国专利 :CN120903932B ,2025-12-12

[8]

低电阻率氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108516821A ,2018-09-11

[9]

一种氧化锡靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

罗斯诗 ;

顾德盛 ;

张兴宇 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN119162546A ,2024-12-20

[10]

一种氧化锡靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

罗斯诗 ;

顾德盛 ;

张兴宇 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN119162546B ,2025-10-17

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