一种高密度氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410636250.8

申请日：

2024-05-22

公开(公告)号：

CN118515477A

公开(公告)日：

2024-08-20

发明(设计)人：

文宏福李鹏蔡正明

申请人：

广东欧莱高新材料股份有限公司东莞市欧莱溅射靶材有限公司

申请人地址：

512000 广东省韶关市武江区创业路5号C幢厂房

IPC主分类号：

C04B35/457

IPC分类号：

C04B35/622 C23C14/34

代理机构：

北京天盾知识产权代理有限公司 11421

代理人：

林晓宏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省东莞市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/457申请日:20240522
2024-08-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高密度氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

盖伟 ;

段静芳 ;

李玉新 ;

古建国 .

中国专利 :CN102180653A ,2011-09-14

[2]

一种氧化锡陶瓷靶材及其制备方法 [P].

纪生晓 ;

李强 ;

杨涛 ;

林智成 ;

官凌宇 .

中国专利 :CN120794609A ,2025-10-17

[3]

一种氧化锡陶瓷靶材及其制备方法 [P].

杨涛 ;

李强 ;

邱用雪 ;

林智成 ;

官凌宇 ;

纪生晓 ;

张汉都 .

中国专利 :CN120794610A ,2025-10-17

[4]

一种制备高密度氧化物陶瓷靶材的方法 [P].

曾学云 ;

刘洋 ;

孙本双 ;

舒永春 ;

何季麟 .

中国专利 :CN107814561A ,2018-03-20

[5]

一种氧化锡组合物及其制备方法、改性氧化锡陶瓷靶材及其制备方法 [P].

纪生晓 ;

杨涛 ;

李强 ;

林智成 ;

官凌宇 .

中国专利 :CN119751044A ,2025-04-04

[6]

一种氧化锡基靶材及其制备方法 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

卢晓鹏 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN116655372B ,2024-01-26

[7]

一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法 [P].

马超宁 ;

牛潇迪 ;

黄誓成 ;

侯远欣 ;

孟红波 ;

王淑娜 .

中国专利 :CN118206360A ,2024-06-18

[8]

一种高密度氧化物靶材及其制备方法 [P].

张高祥 ;

王奇峰 ;

李开杰 ;

吴鸿毅 ;

陆洲 ;

刘成龙 .

中国专利 :CN118932286B ,2025-10-17

[9]

一种高密度氧化物靶材及其制备方法 [P].

张高祥 ;

王奇峰 ;

李开杰 ;

吴鸿毅 ;

陆洲 ;

刘成龙 .

中国专利 :CN118932286A ,2024-11-12

[10]

一种低电阻的氧化锡基靶材及其制备方法 [P].

徐红星 ;

马厚良 ;

周贤界 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN118724584A ,2024-10-01

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