一种制备高密度氧化物陶瓷靶材的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201711224677.3
申请日
2017-11-29
公开(公告)号
CN107814561A
公开(公告)日
2018-03-20
发明(设计)人
曾学云 刘洋 孙本双 舒永春 何季麟
申请人
申请人地址
450001 河南省郑州市科学大道100号
IPC主分类号
C04B3501
IPC分类号
C04B35453 C04B35622 C04B35634 C04B35636
代理机构
北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557
代理人
唐维铁
法律状态
发明专利申请公布后的撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
一种制备氧化物陶瓷靶材坯体的方法 [P]. 
曾学云 ;
舒永春 ;
刘洋 ;
孙本双 .
中国专利 :CN108046767A ,2018-05-18
[2]
一种高密度氧化物靶材及其制备方法 [P]. 
张高祥 ;
王奇峰 ;
李开杰 ;
吴鸿毅 ;
陆洲 ;
刘成龙 .
中国专利 :CN118932286B ,2025-10-17
[3]
一种高密度氧化物靶材及其制备方法 [P]. 
张高祥 ;
王奇峰 ;
李开杰 ;
吴鸿毅 ;
陆洲 ;
刘成龙 .
中国专利 :CN118932286A ,2024-11-12
[4]
一种高密度氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法 [P]. 
文宏福 ;
李鹏 ;
蔡正明 .
中国专利 :CN118515477A ,2024-08-20
[5]
单相结构-高密度铟锡氧化物靶材的制备方法 [P]. 
刘家祥 ;
刘宸 ;
王玥 .
中国专利 :CN101812665A ,2010-08-25
[6]
高密度、高纯度、大尺寸陶瓷靶材的制备方法 [P]. 
岳鑫 ;
吕延庆 ;
肖飞 ;
张福林 ;
韩小莹 ;
赵洪俭 .
中国专利 :CN114195513A ,2022-03-18
[7]
高密度铟锡氧化物靶材及其制造方法 [P]. 
蒋政 ;
樊世清 .
中国专利 :CN1326909A ,2001-12-19
[8]
一种氧化物陶瓷靶材及其制备方法 [P]. 
许积文 ;
周贤界 ;
王华 ;
杨玲 ;
袁昌来 ;
张小文 .
中国专利 :CN104291792A ,2015-01-21
[9]
一种铟锡氧化物陶瓷靶材的制备方法 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN108218419A ,2018-06-29
[10]
一种低电阻高密度氧化物靶材前驱体及其制备方法 [P]. 
张高祥 ;
王奇峰 ;
李开杰 ;
顾德盛 ;
张兴宇 ;
罗斯诗 .
中国专利 :CN118930227A ,2024-11-12