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一种制备高密度氧化物陶瓷靶材的方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201711224677.3
申请日
:
2017-11-29
公开(公告)号
:
CN107814561A
公开(公告)日
:
2018-03-20
发明(设计)人
:
曾学云
刘洋
孙本双
舒永春
何季麟
申请人
:
申请人地址
:
450001 河南省郑州市科学大道100号
IPC主分类号
:
C04B3501
IPC分类号
:
C04B35453
C04B35622
C04B35634
C04B35636
代理机构
:
北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557
代理人
:
唐维铁
法律状态
:
发明专利申请公布后的撤回
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-05-15
发明专利申请公布后的撤回
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C04B 35/01 申请公布日:20180320
2018-03-20
公开
公开
2018-04-13
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/01 申请日:20171129
共 50 条
[1]
一种制备氧化物陶瓷靶材坯体的方法
[P].
曾学云
论文数:
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曾学云
;
舒永春
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舒永春
;
刘洋
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0
刘洋
;
孙本双
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孙本双
.
中国专利
:CN108046767A
,2018-05-18
[2]
一种高密度氧化物靶材及其制备方法
[P].
张高祥
论文数:
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
张高祥
;
王奇峰
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
王奇峰
;
李开杰
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
李开杰
;
吴鸿毅
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
吴鸿毅
;
陆洲
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
陆洲
;
刘成龙
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
刘成龙
.
中国专利
:CN118932286B
,2025-10-17
[3]
一种高密度氧化物靶材及其制备方法
[P].
张高祥
论文数:
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
张高祥
;
王奇峰
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
王奇峰
;
李开杰
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
李开杰
;
吴鸿毅
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
吴鸿毅
;
陆洲
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
陆洲
;
刘成龙
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
刘成龙
.
中国专利
:CN118932286A
,2024-11-12
[4]
一种高密度氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法
[P].
文宏福
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机构:
广东欧莱高新材料股份有限公司
广东欧莱高新材料股份有限公司
文宏福
;
李鹏
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机构:
广东欧莱高新材料股份有限公司
广东欧莱高新材料股份有限公司
李鹏
;
蔡正明
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机构:
广东欧莱高新材料股份有限公司
广东欧莱高新材料股份有限公司
蔡正明
.
中国专利
:CN118515477A
,2024-08-20
[5]
单相结构-高密度铟锡氧化物靶材的制备方法
[P].
刘家祥
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刘家祥
;
刘宸
论文数:
0
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刘宸
;
王玥
论文数:
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0
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王玥
.
中国专利
:CN101812665A
,2010-08-25
[6]
高密度、高纯度、大尺寸陶瓷靶材的制备方法
[P].
岳鑫
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岳鑫
;
吕延庆
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吕延庆
;
肖飞
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肖飞
;
张福林
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张福林
;
韩小莹
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韩小莹
;
赵洪俭
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赵洪俭
.
中国专利
:CN114195513A
,2022-03-18
[7]
高密度铟锡氧化物靶材及其制造方法
[P].
蒋政
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蒋政
;
樊世清
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0
樊世清
.
中国专利
:CN1326909A
,2001-12-19
[8]
一种氧化物陶瓷靶材及其制备方法
[P].
许积文
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许积文
;
周贤界
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周贤界
;
王华
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王华
;
杨玲
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杨玲
;
袁昌来
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袁昌来
;
张小文
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张小文
.
中国专利
:CN104291792A
,2015-01-21
[9]
一种铟锡氧化物陶瓷靶材的制备方法
[P].
不公告发明人
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0
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不公告发明人
.
中国专利
:CN108218419A
,2018-06-29
[10]
一种低电阻高密度氧化物靶材前驱体及其制备方法
[P].
张高祥
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
张高祥
;
王奇峰
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
王奇峰
;
李开杰
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
李开杰
;
顾德盛
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
顾德盛
;
张兴宇
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
张兴宇
;
罗斯诗
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
罗斯诗
.
中国专利
:CN118930227A
,2024-11-12
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