待外延生长的衬底处理方法、外延生长方法及外延结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510073497.8

申请日：

2025-01-17

公开(公告)号：

CN119913612A

公开(公告)日：

2025-05-02

发明(设计)人：

刘青康凯王农华

申请人：

广东中图半导体科技股份有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号

IPC主分类号：

C30B25/18

IPC分类号：

H10H20/01 C30B29/68 H10H20/812 H10H20/825 C30B29/02 C30B29/40 C01B32/186

代理机构：

北京佳信天和知识产权代理事务所(普通合伙) 11939

代理人：

卢楠

法律状态：

公开

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-02	公开	公开
2025-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/18申请日:20250117

共 50 条

[1]

外延生长方法以及外延生长用衬底 [P].

中村正志 ;

栗田英树 .

中国专利 :CN100401482C ,2005-12-14

[2]

外延生长方法及外延结构 [P].

王明华 .

中国专利 :CN120767185A ,2025-10-10

[3]

外延生长方法及外延结构 [P].

王明华 .

中国专利 :CN120637203A ,2025-09-12

[4]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN119685923A ,2025-03-25

[5]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118814269A ,2024-10-22

[6]

外延生长方法及外延生长装置 [P].

刘晨阳 ;

王力 .

中国专利 :CN119640396A ,2025-03-18

[7]

外延生长设备及外延生长方法 [P].

胡彬 ;

王朋 ;

段焕涛 ;

李文 .

中国专利 :CN118166419A ,2024-06-11

[8]

外延生长方法及外延片 [P].

王娜 ;

俎世琦 ;

金柱炫 .

中国专利 :CN119913611A ,2025-05-02

[9]

外延生长方法及外延片 [P].

何斌斌 ;

俎世琦 .

中国专利 :CN119351997A ,2025-01-24

[10]

外延生长方法及外延膜 [P].

屈鹏霏 ;

金鹏 ;

王镇 ;

韩煦 ;

王占国 .

中国专利 :CN117373904A ,2024-01-09

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