一种磷化铟衬底片自动磨边装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420917743.4

申请日：

2024-04-29

公开(公告)号：

CN222818549U

公开(公告)日：

2025-05-02

发明(设计)人：

王滔周铁军

申请人：

广东先导微电子科技有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间

IPC主分类号：

B24B9/06

IPC分类号：

B24B27/00 B24B41/00 B24B49/12 B24B51/00

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

杨小红

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种衬底片磨边装置 [P].

王滔 ;

周铁军 .

中国专利 :CN222818548U ,2025-05-02

[2]

一种磷化铟衬底片定位磨边装置及方法 [P].

周锐 ;

刘桂勇 ;

刘兴达 ;

柯尊斌 ;

王卿伟 .

中国专利 :CN114683126A ,2022-07-01

[3]

一种衬底片清洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222980456U ,2025-06-13

[4]

一种衬底片冲洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222817452U ,2025-05-02

[5]

一种磷化铟片上下料设备与下片装置 [P].

郑金龙 ;

黄艺毅 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN221658966U ,2024-09-06

[6]

一种衬底片盒 [P].

王滔 ;

周铁军 ;

毕宏岩 .

中国专利 :CN222826374U ,2025-05-02

[7]

一种衬底片清洗干燥装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222999231U ,2025-06-20

[8]

一种衬底片存放盒 [P].

王滔 ;

周铁军 ;

毕宏岩 .

中国专利 :CN222820462U ,2025-05-02

[9]

一种磷化铟衬底的抛光装置 [P].

王书杰 ;

孙聂枫 ;

王阳 ;

李晓岚 ;

史艳磊 ;

邵会民 ;

付莉杰 ;

刘铮 ;

孙同年 ;

刘惠生 .

中国专利 :CN214723256U ,2021-11-16

[10]

一种磷化铟衬底的抛光装置 [P].

王书杰 ;

孙聂枫 ;

王阳 ;

李晓岚 ;

史艳磊 ;

邵会民 ;

付莉杰 ;

刘铮 ;

孙同年 ;

刘惠生 .

中国专利 :CN112847114A ,2021-05-28

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