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一种衬底片冲洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421450632.3
申请日：
2024-06-24
公开(公告)号：
CN222817452U
公开(公告)日：
2025-05-02
发明(设计)人：
郑金龙
王滔
周铁军
马金峰
申请人：
广东先导微电子科技有限公司
申请人地址：
511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
IPC主分类号：
B08B3/02
IPC分类号：
B08B13/00
H01L21/67
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
沈闯
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-02 | 授权 | 授权 |