一种摆动式冲洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421450549.6

申请日：

2024-06-24

公开(公告)号：

CN222980457U

公开(公告)日：

2025-06-13

发明(设计)人：

郑金龙王滔周铁军马金峰

申请人：

广东先导微电子科技有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

沈闯

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种摆动式冲洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222817451U ,2025-05-02

[2]

一种摆动式浸泡清洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222817478U ,2025-05-02

[3]

一种衬底片冲洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222817452U ,2025-05-02

[4]

一种摆动清洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222999263U ,2025-06-20

[5]

一种斜面往复式冲洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN223145407U ,2025-07-25

[6]

一种自动上下片斜面冲洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222999229U ,2025-06-20

[7]

一种水力摆动式喷射冲洗装置 [P].

王哲晓 ;

肖波 ;

汤杰 ;

佟斯翰 .

中国专利 :CN113914446A ,2022-01-11

[8]

一种横移式清洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN223337879U ,2025-09-16

[9]

一种旋转式清洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222999232U ,2025-06-20

[10]

一种旋转式清洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222999233U ,2025-06-20

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