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一种自动上下片斜面冲洗装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202421493473.5
申请日
:
2024-06-27
公开(公告)号
:
CN222999229U
公开(公告)日
:
2025-06-20
发明(设计)人
:
郑金龙
王滔
周铁军
马金峰
申请人
:
广东先导微电子科技有限公司
申请人地址
:
511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
IPC主分类号
:
B08B3/02
IPC分类号
:
B08B3/10
B08B13/00
H01L21/67
代理机构
:
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
:
沈闯
法律状态
:
授权
国省代码
:
江苏省 常州市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-06-20
授权
授权
共 50 条
[1]
一种斜面往复式冲洗装置
[P].
郑金龙
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
郑金龙
;
王滔
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
王滔
;
周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
周铁军
;
马金峰
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN223145407U
,2025-07-25
[2]
一种磷化铟片上下料设备与下片装置
[P].
郑金龙
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
郑金龙
;
黄艺毅
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
黄艺毅
;
周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
周铁军
;
马金峰
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN221658966U
,2024-09-06
[3]
晶圆自动上下片系统
[P].
刘煜昆
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潍坊明哲智能科技有限公司
潍坊明哲智能科技有限公司
刘煜昆
;
郭明灿
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潍坊明哲智能科技有限公司
潍坊明哲智能科技有限公司
郭明灿
.
中国专利
:CN221071646U
,2024-06-04
[4]
一种摆动式冲洗装置
[P].
郑金龙
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
郑金龙
;
王滔
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
王滔
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周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
周铁军
;
马金峰
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN222980457U
,2025-06-13
[5]
一种摆动式冲洗装置
[P].
郑金龙
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
郑金龙
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王滔
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广东先导微电子科技有限公司
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;
周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
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周铁军
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马金峰
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN222817451U
,2025-05-02
[6]
一种衬底片冲洗装置
[P].
郑金龙
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
郑金龙
;
王滔
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广东先导微电子科技有限公司
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;
周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
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;
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN222817452U
,2025-05-02
[7]
一种斜面洗片装置
[P].
郑金龙
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
郑金龙
;
王滔
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广东先导微电子科技有限公司
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王滔
;
周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
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周铁军
;
马金峰
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN222817450U
,2025-05-02
[8]
一种CNC自动上下料装置
[P].
王大明
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王大明
;
陆贤辉
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陆贤辉
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姜延冬
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姜延冬
;
赖智宇
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赖智宇
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李进都
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李进都
.
中国专利
:CN207464798U
,2018-06-08
[9]
一种CNC自动上下料装置及上下料方法
[P].
王大明
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王大明
;
陆贤辉
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陆贤辉
;
姜延冬
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姜延冬
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赖智宇
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赖智宇
;
李进都
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李进都
.
中国专利
:CN107336067A
,2017-11-10
[10]
一种自动上料单晶炉装置
[P].
王滔
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
王滔
;
周铁军
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
周铁军
;
毕宏岩
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
毕宏岩
.
中国专利
:CN118547379A
,2024-08-27
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