一种自动上下片斜面冲洗装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202421493473.5
申请日
2024-06-27
公开(公告)号
CN222999229U
公开(公告)日
2025-06-20
发明(设计)人
郑金龙 王滔 周铁军 马金峰
申请人
广东先导微电子科技有限公司
申请人地址
511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
IPC主分类号
B08B3/02
IPC分类号
B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
沈闯
法律状态
授权
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
一种斜面往复式冲洗装置 [P]. 
郑金龙 ;
王滔 ;
周铁军 ;
马金峰 .
中国专利 :CN223145407U ,2025-07-25
[2]
一种磷化铟片上下料设备与下片装置 [P]. 
郑金龙 ;
黄艺毅 ;
周铁军 ;
马金峰 .
中国专利 :CN221658966U ,2024-09-06
[3]
晶圆自动上下片系统 [P]. 
刘煜昆 ;
郭明灿 .
中国专利 :CN221071646U ,2024-06-04
[4]
一种摆动式冲洗装置 [P]. 
郑金龙 ;
王滔 ;
周铁军 ;
马金峰 .
中国专利 :CN222980457U ,2025-06-13
[5]
一种摆动式冲洗装置 [P]. 
郑金龙 ;
王滔 ;
周铁军 ;
马金峰 .
中国专利 :CN222817451U ,2025-05-02
[6]
一种衬底片冲洗装置 [P]. 
郑金龙 ;
王滔 ;
周铁军 ;
马金峰 .
中国专利 :CN222817452U ,2025-05-02
[7]
一种斜面洗片装置 [P]. 
郑金龙 ;
王滔 ;
周铁军 ;
马金峰 .
中国专利 :CN222817450U ,2025-05-02
[8]
一种CNC自动上下料装置 [P]. 
王大明 ;
陆贤辉 ;
姜延冬 ;
赖智宇 ;
李进都 .
中国专利 :CN207464798U ,2018-06-08
[9]
一种CNC自动上下料装置及上下料方法 [P]. 
王大明 ;
陆贤辉 ;
姜延冬 ;
赖智宇 ;
李进都 .
中国专利 :CN107336067A ,2017-11-10
[10]
一种自动上料单晶炉装置 [P]. 
王滔 ;
周铁军 ;
毕宏岩 .
中国专利 :CN118547379A ,2024-08-27