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抗蚀剂底层组合物和使用该组合物形成图案的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411482622.2
申请日：
2024-10-23
公开(公告)号：
CN119882348A
公开(公告)日：
2025-04-25
发明(设计)人：
李恩受 白载烈 黄丙奎 阵和英 金秀贞 金圣振 曹雅罗 崔有廷 郑盛宇 林昌模 权纯亨
申请人：
三星SDI株式会社
申请人地址：
韩国京畿道龙仁市器兴区贡税路150-20号
IPC主分类号：
G03F7/004
IPC分类号：
G03F7/09
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
马雯雯;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-25 公开 公开
2025-05-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/004申请日:20241023
共 50 条
[1]
抗蚀剂底层组合物和使用组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
金圣振 ;
白载烈 ;
阵和英 ;
权纯亨 .
韩国专利 :CN117590687A ,2024-02-23
[2]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
朴贤 ;
白载烈 ;
金旼秀 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
安度源 .
中国专利 :CN113138532A ,2021-07-20
[3]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
朴贤 ;
白载烈 ;
金旼秀 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
安度源 .
韩国专利 :CN113138532B ,2025-05-13
[4]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
金圣振 ;
白载烈 ;
阵和英 ;
南宫烂 ;
朴贤 ;
宋大锡 .
中国专利 :CN115685674A ,2023-02-03
[5]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
金圣振 ;
白载烈 ;
阵和英 ;
南宫烂 ;
朴贤 ;
宋大锡 .
韩国专利 :CN115685674B ,2025-10-10
[6]
抗蚀剂底层组合物和使用组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
曹雅罗 ;
郑盛宇 ;
阵和英 ;
金圣振 ;
李恩受 ;
黄丙奎 .
韩国专利 :CN120909060A ,2025-11-07
[7]
抗蚀剂底层组合物及使用组合物形成图案的方法 [P]. 
郑盛宇 ;
李智惠 ;
崔有廷 ;
金圣振 ;
李在珉 ;
文情寅 ;
阵和英 .
韩国专利 :CN120865771A ,2025-10-31
[8]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
白载烈 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
朴贤 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
崔有廷 .
中国专利 :CN113204170A ,2021-08-03
[9]
抗蚀剂底层组合物及使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
阵和英 ;
崔有廷 ;
白载烈 ;
权纯亨 ;
金圣振 ;
曺雅罗 .
韩国专利 :CN119472167A ,2025-02-18
[10]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
白载烈 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
朴贤 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
崔有廷 .
韩国专利 :CN113204170B ,2025-05-27
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