共 50 条
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一种用于集成电路的生产设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421614632.2
申请日：
2024-07-09
公开(公告)号：
CN222817565U
公开(公告)日：
2025-05-02
发明(设计)人：
张侠丽
张帅
张勇
刘冬冬
张凯瑞
张凯琪
申请人：
康士微电子科技（无锡）有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市惠山区阳山镇远景路7
IPC主分类号：
B08B11/02
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/687
B08B3/02
B08B13/00
代理机构：
无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492
代理人：
刘咏华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-02 | 授权 | 授权 |