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一种用于生产集成电路的蚀刻设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420315339.X
申请日：
2024-02-20
公开(公告)号：
CN221863186U
公开(公告)日：
2024-10-18
发明(设计)人：
朱家国
张重达
桑胜男
申请人：
浙江温芯微电子有限公司
申请人地址：
313000 浙江省湖州市吴兴区高新区外溪路266号园区内A幢13层1301、1302室（自主申报）
IPC主分类号：
H05K3/06
IPC分类号：
代理机构：
北京金智普华知识产权代理有限公司 11401
代理人：
郭美
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-18 | 授权 | 授权 |