垂直离子束角度实时测量系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210729841.0

申请日：

2022-06-24

公开(公告)号：

CN115132574B

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

苏文华曹炜吴炎森

申请人：

杭州富芯半导体有限公司

申请人地址：

310000 浙江省杭州市滨江区西兴街道联慧街6号1-1301

IPC主分类号：

H01L21/265

IPC分类号：

H01L21/66

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

丁俊萍

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	授权	授权
2025-07-25	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):H01L 21/265变更事项:专利权人变更前:杭州富芯半导体有限公司变更后:杭州富芯半导体有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:310000 浙江省杭州市滨江区西兴街道联慧街6号1-1301变更后:311418 浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号（滨富合作区）

共 50 条

[1]

垂直离子束角度实时测量系统和方法 [P].

苏文华 ;

曹炜 ;

吴炎森 .

中国专利 :CN115132574A ,2022-09-30

[2]

用于离子注入系统的离子束角度测量系统和方法 [P].

布赖恩·弗瑞尔 ;

亚历山大·普瑞尔 .

中国专利 :CN101361160A ,2009-02-04

[3]

离子束测量方法、装置、离子束束流测量系统及真空设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

邓政伟 ;

范奕生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN117826230A ,2024-04-05

[4]

离子束照射装置和离子束照射方法 [P].

安东靖典 .

中国专利 :CN100552866C ,2007-03-21

[5]

一种离子束角度测量装置 [P].

陈维 ;

陈炯 .

中国专利 :CN221351760U ,2024-07-16

[6]

离子束测量方法和离子注入装置 [P].

海势头圣 ;

滨本成显 .

中国专利 :CN1860381A ,2006-11-08

[7]

离子束测量方法和离子注入装置 [P].

海势头圣 ;

滨本成显 ;

池尻忠司 ;

田中浩平 .

中国专利 :CN101079362A ,2007-11-28

[8]

离子束的束流强度测量方法、束流测量系统、设备及介质 [P].

樊树宝 ;

何山 ;

李晨冉 ;

马国宇 ;

张丛 ;

田龙 ;

张爱军 .

中国专利 :CN120065289A ,2025-05-30

[9]

一种多个杯子测量离子束流垂直角度的方法 [P].

王肇龙 .

中国专利 :CN112666593B ,2024-12-03

[10]

一种多个杯子测量离子束流垂直角度的方法 [P].

王肇龙 .

中国专利 :CN112666593A ,2021-04-16

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