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一种多个杯子测量离子束流垂直角度的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910980740.9
申请日：
2019-10-15
公开(公告)号：
CN112666593A
公开(公告)日：
2021-04-16
发明(设计)人：
王肇龙
申请人：
申请人地址：
101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号
IPC主分类号：
G01T129
IPC分类号：
G01R1900
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-16 | 公开 | 公开 |