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一种离子束水平与垂直角度测量装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811309626.5
申请日：
2018-10-31
公开(公告)号：
CN111128658A
公开(公告)日：
2020-05-08
发明(设计)人：
马国宇
申请人：
申请人地址：
101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号
IPC主分类号：
H01J37244
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/244 申请日:20181031 |
| 2020-05-08 | 公开 | 公开 |