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一种离子束流传输角度检测装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710382994.1
申请日：
2017-05-26
公开(公告)号：
CN108962710A
公开(公告)日：
2018-12-07
发明(设计)人：
马国宇
申请人：
申请人地址：
101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号
IPC主分类号：
H01J37244
IPC分类号：
H01J37317
H01L2166
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-12-07 | 公开 | 公开 |
| 2020-12-04 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J 37/244 申请公布日:20181207 |