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一种离子束的传输系统
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201611226596.2
申请日
:
2016-12-27
公开(公告)号
:
CN106793445B
公开(公告)日
:
2017-05-31
发明(设计)人
:
吴宜灿
王永峰
王志刚
刘超
宋钢
申请人
:
申请人地址
:
230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
IPC主分类号
:
H05H700
IPC分类号
:
代理机构
:
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
:
王宝筠
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2017-06-23
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729323620 IPC(主分类):H05H 7/00 专利申请号:2016112265962 申请日:20161227
2017-05-31
公开
公开
2018-08-14
授权
授权
共 50 条
[1]
离子束传输装置
[P].
钱锋
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钱锋
;
陈炯
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陈炯
.
中国专利
:CN102117729A
,2011-07-06
[2]
离子束传输控制系统
[P].
王迪平
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王迪平
;
罗宏洋
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罗宏洋
;
郭健辉
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郭健辉
;
田小海
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田小海
;
文超
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文超
.
中国专利
:CN2913386Y
,2007-06-20
[3]
离子源系统和离子束流系统
[P].
洪俊华
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洪俊华
;
陈炯
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陈炯
.
中国专利
:CN104299871B
,2015-01-21
[4]
一种离子束辅助沉积系统
[P].
卢世通
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卢世通
;
张向平
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张向平
;
方晓华
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方晓华
;
李君华
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李君华
.
中国专利
:CN209481775U
,2019-10-11
[5]
一种离子束辅助沉积系统
[P].
方晓华
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方晓华
;
李君华
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李君华
;
张向平
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张向平
.
中国专利
:CN107475670A
,2017-12-15
[6]
荷电离子束流强度测量系统
[P].
姚存峰
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姚存峰
.
中国专利
:CN208188352U
,2018-12-04
[7]
一种离子束流传输角度检测装置
[P].
马国宇
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马国宇
.
中国专利
:CN108962710A
,2018-12-07
[8]
一种重离子束辐照装置
[P].
李运杰
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李运杰
;
姚会军
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姚会军
;
刘杰
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刘杰
;
孙友梅
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孙友梅
;
莫丹
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莫丹
;
段敬来
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段敬来
;
胡正国
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胡正国
.
中国专利
:CN115527700A
,2022-12-27
[9]
一种离子束流测量头及离子束流测量装置
[P].
赵达逵
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0
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
赵达逵
;
田甲
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
田甲
;
武冲
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
武冲
.
中国专利
:CN120018361A
,2025-05-16
[10]
一种离子束快速扫描照射系统
[P].
论文数:
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机构:
贺鹏博
;
论文数:
引用数:
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机构:
李强
.
中国专利
:CN115845279B
,2025-11-07
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