一种全固态MEMS电场传感器及工作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211246179.X

申请日：

2022-10-12

公开(公告)号：

CN115840093B

公开(公告)日：

2025-05-27

发明(设计)人：

马洪宇王鸿志吴力淞王腊梅李保东

申请人：

中国矿业大学

申请人地址：

221116 江苏省徐州市大学路1号

IPC主分类号：

G01R29/12

IPC分类号：

B81B7/02 B81C1/00

代理机构：

北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226

代理人：

李明

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省徐州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种全固态MEMS电场传感器、制备方法及工作方法 [P].

马洪宇 ;

王鸿志 ;

吴力淞 ;

王腊梅 ;

李保东 .

中国专利 :CN115308497A ,2022-11-08

[2]

基于驻极体的MEMS电场传感器 [P].

黄景傲 ;

伍晓明 ;

边潍 .

中国专利 :CN104020359B ,2014-09-03

[3]

MEMS电场传感器的无线供能系统及MEMS电场传感器 [P].

张超 ;

余占清 ;

黄耀升 ;

牟亚 ;

陈志锋 ;

王晓蕊 ;

梁海蓬 .

中国专利 :CN207968089U ,2018-10-12

[4]

无线供能于MEMS电场传感器的系统、方法及相应电场传感器 [P].

张超 ;

余占清 ;

黄耀升 ;

牟亚 ;

陈志锋 ;

王晓蕊 ;

梁海蓬 .

中国专利 :CN107846083B ,2024-04-30

[5]

无线供能于MEMS电场传感器的系统、方法及相应电场传感器 [P].

张超 ;

余占清 ;

黄耀升 ;

牟亚 ;

陈志锋 ;

王晓蕊 ;

梁海蓬 .

中国专利 :CN107846083A ,2018-03-27

[6]

压电电极组件、加工方法及MEMS电场传感器 [P].

杨鹏飞 ;

闻小龙 ;

储昭志 ;

吴双 .

中国专利 :CN119827853A ,2025-04-15

[7]

MEMS电场传感器、封装方法及封装设备 [P].

闻小龙 ;

万振波 ;

张亦弛 ;

闫伟峰 ;

李泽昊 ;

王宙玺 ;

肖江华 ;

吴双 .

中国专利 :CN120741964A ,2025-10-03

[8]

一种MEMS电场传感器及其无线供能系统 [P].

范亚洲 ;

余占清 ;

黄嫔斌 ;

牟亚 ;

甄志明 ;

王晓蕊 ;

温带银 .

中国专利 :CN207895003U ,2018-09-21

[9]

一种MEMS电场传感器及其无线供能系统与方法 [P].

范亚洲 ;

余占清 ;

黄嫔斌 ;

牟亚 ;

甄志明 ;

王晓蕊 ;

温带银 .

中国专利 :CN107860985A ,2018-03-30

[10]

一种MEMS电场传感器及其无线供能系统与方法 [P].

范亚洲 ;

余占清 ;

黄嫔斌 ;

牟亚 ;

甄志明 ;

王晓蕊 ;

温带银 .

中国专利 :CN107860985B ,2024-01-26

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