多通路式真空蒸发源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310135208.3

申请日：

2020-07-03

公开(公告)号：

CN116479383B

公开(公告)日：

2025-05-09

发明(设计)人：

艾金虎

申请人：

埃频（上海）仪器科技有限公司

申请人地址：

201415 上海市奉贤区钜庭路998号1号楼

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

代理机构：

上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313

代理人：

李镝的

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-09	授权	授权

共 50 条

[1]

多通路式蒸发源 [P].

艾金虎 .

中国专利 :CN111621750B ,2020-09-04

[2]

真空蒸发源 [P].

黃道元 .

中国专利 :CN111051564A ,2020-04-21

[3]

真空蒸发源 [P].

黃道元 .

中国专利 :CN111051562A ,2020-04-21

[4]

高效纳米真空蒸发源 [P].

王宁 .

中国专利 :CN111206228A ,2020-05-29

[5]

电子作用超高真空蒸发源 [P].

赵维巍 ;

吴向方 .

中国专利 :CN114032511A ,2022-02-11

[6]

电子作用超高真空蒸发源 [P].

赵维巍 ;

吴向方 .

中国专利 :CN114032511B ,2024-12-24

[7]

多功能纳米真空蒸发源 [P].

王宁 .

中国专利 :CN211689207U ,2020-10-16

[8]

一种插拔式高真空蒸发源 [P].

郭方准 .

中国专利 :CN211112190U ,2020-07-28

[9]

一种低温真空蒸发源 [P].

郭方准 ;

张晓敏 ;

臧侃 ;

董华军 ;

李红娟 ;

杨云 .

中国专利 :CN107217236A ,2017-09-29

[10]

一种有机真空蒸发源 [P].

郭方准 ;

李红娟 ;

臧侃 ;

董华军 ;

张晓敏 ;

郑研 .

中国专利 :CN206872932U ,2018-01-12

← 1 2 3 4 5 →