一种低温真空蒸发源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710350948.3

申请日：

2017-05-17

公开(公告)号：

CN107217236A

公开(公告)日：

2017-09-29

发明(设计)人：

郭方准张晓敏臧侃董华军李红娟杨云

申请人：

申请人地址：

116028 辽宁省大连市沙河口区黄河路794号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

代理机构：

大连东方专利代理有限责任公司 21212

代理人：

高永德;李洪福

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/26 申请日:20170517
2017-09-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种低温真空蒸发源 [P].

郭方准 ;

张晓敏 ;

臧侃 ;

董华军 ;

李红娟 ;

杨云 .

中国专利 :CN206858646U ,2018-01-09

[2]

一种有机真空蒸发源 [P].

郭方准 ;

李红娟 ;

臧侃 ;

董华军 ;

张晓敏 ;

郑研 .

中国专利 :CN206872932U ,2018-01-12

[3]

一种有机真空蒸发源 [P].

郭方准 ;

李红娟 ;

臧侃 ;

董华军 ;

张晓敏 ;

郑研 .

中国专利 :CN106987809A ,2017-07-28

[4]

真空蒸发源 [P].

黃道元 .

中国专利 :CN111051564A ,2020-04-21

[5]

真空蒸发源 [P].

黃道元 .

中国专利 :CN111051562A ,2020-04-21

[6]

高效纳米真空蒸发源 [P].

王宁 .

中国专利 :CN111206228A ,2020-05-29

[7]

一种高真空蒸发源挡板 [P].

李璐 .

中国专利 :CN208634507U ,2019-03-22

[8]

一种真空蒸发源加热组件 [P].

王燕东 ;

王文冲 ;

迟力峰 .

中国专利 :CN210560695U ,2020-05-19

[9]

一种真空蒸发源加热组件 [P].

李剑飞 ;

刘华林 ;

郝文涛 ;

王超 .

中国专利 :CN222795701U ,2025-04-25

[10]

多通路式真空蒸发源 [P].

艾金虎 .

中国专利 :CN116479383B ,2025-05-09

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