一种有机真空蒸发源

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710348599.1
申请日
2017-05-17
公开(公告)号
CN106987809A
公开(公告)日
2017-07-28
发明(设计)人
郭方准 李红娟 臧侃 董华军 张晓敏 郑研
申请人
申请人地址
116028 辽宁省大连市沙河口区黄河路794号
IPC主分类号
C23C1426
IPC分类号
C23C1412 C23C1454
代理机构
大连东方专利代理有限责任公司 21212
代理人
高永德;李洪福
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种有机真空蒸发源 [P]. 
郭方准 ;
李红娟 ;
臧侃 ;
董华军 ;
张晓敏 ;
郑研 .
中国专利 :CN206872932U ,2018-01-12
[2]
一种低温真空蒸发源 [P]. 
郭方准 ;
张晓敏 ;
臧侃 ;
董华军 ;
李红娟 ;
杨云 .
中国专利 :CN107217236A ,2017-09-29
[3]
一种低温真空蒸发源 [P]. 
郭方准 ;
张晓敏 ;
臧侃 ;
董华军 ;
李红娟 ;
杨云 .
中国专利 :CN206858646U ,2018-01-09
[4]
真空蒸发源 [P]. 
黃道元 .
中国专利 :CN111051564A ,2020-04-21
[5]
真空蒸发源 [P]. 
黃道元 .
中国专利 :CN111051562A ,2020-04-21
[6]
一种真空蒸发源加热组件 [P]. 
王燕东 ;
王文冲 ;
迟力峰 .
中国专利 :CN210560695U ,2020-05-19
[7]
高效纳米真空蒸发源 [P]. 
王宁 .
中国专利 :CN111206228A ,2020-05-29
[8]
一种高真空蒸发源挡板 [P]. 
李璐 .
中国专利 :CN208634507U ,2019-03-22
[9]
一种真空蒸发源加热组件 [P]. 
李剑飞 ;
刘华林 ;
郝文涛 ;
王超 .
中国专利 :CN222795701U ,2025-04-25
[10]
多通路式真空蒸发源 [P]. 
艾金虎 .
中国专利 :CN116479383B ,2025-05-09