晶圆的自动光学检查装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421401715.3

申请日：

2024-06-19

公开(公告)号：

CN222939127U

公开(公告)日：

2025-06-03

发明(设计)人：

唐明志

申请人：

铧友益科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾高雄市

IPC主分类号：

G01N35/00

IPC分类号：

G01N35/10 G01N21/95

代理机构：

北京泰吉知识产权代理有限公司 11355

代理人：

史瞳;秦小耕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置 [P].

叶井飞 .

中国专利 :CN114636671A ,2022-06-17

[2]

检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构 [P].

黄冠豪 ;

骆玉盛 .

中国专利 :CN210180940U ,2020-03-24

[3]

自动光学检查系统和自动光学检查方法 [P].

任炳铉 ;

崔铉镐 .

中国专利 :CN101082490B ,2007-12-05

[4]

晶圆片盒的辅助检查装置 [P].

俞雪婷 .

中国专利 :CN217878963U ,2022-11-22

[5]

自动光学检查装置及方法 [P].

崔铉镐 ;

金敏秀 .

中国专利 :CN101382501A ,2009-03-11

[6]

自动光学检查装置及方法 [P].

崔铉镐 ;

金敏秀 .

中国专利 :CN101441181A ,2009-05-27

[7]

自动光学检查方法 [P].

崔铉镐 .

中国专利 :CN101256067A ,2008-09-03

[8]

自动光学检查系统 [P].

吴武成 ;

徐铭聪 ;

张耀中 .

中国专利 :CN208283289U ,2018-12-25

[9]

用于自动光学检查的方法和装置 [P].

杨昊 ;

徐婧 ;

鲁佳毅 .

德国专利 :CN117730350A ,2024-03-19

[10]

自动光学检查中标准图像的获取方法及自动光学检查设备 [P].

高鸿飞 ;

王志强 ;

殷鹏飞 ;

马纪艳 ;

李明龙 .

中国专利 :CN108449525A ,2018-08-24

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