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一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置
被引：0
申请号：
CN202210250769.3
申请日：
2022-03-15
公开(公告)号：
CN114636671A
公开(公告)日：
2022-06-17
发明(设计)人：
叶井飞
申请人：
申请人地址：
215100 江苏省苏州市高新区浒杨路88号
IPC主分类号：
G01N2101
IPC分类号：
G01N2195
代理机构：
无锡风创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32461
代理人：
骆莉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/01 申请日:20220315 |
| 2022-06-17 | 公开 | 公开 |