一种晶圆缺陷检测系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422001001.X

申请日：

2024-08-16

公开(公告)号：

CN223551598U

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

郭庆丰相宇阳俞胜武

申请人：

无锡卓海科技股份有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区珠江路97号

IPC主分类号：

G01N21/47

IPC分类号：

G01N21/95 G01N21/01

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

赵雪晴

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆缺陷检测系统 [P].

张运波 ;

彭博方 .

中国专利 :CN115598129A ,2023-01-13

[2]

一种晶圆缺陷检测机台 [P].

李云华 ;

黄雷 .

中国专利 :CN214313173U ,2021-09-28

[3]

一种晶圆缺陷检测系统和晶圆缺陷检测方法 [P].

陈杰 ;

王冲 ;

陈轮兴 ;

义岚 .

中国专利 :CN120709174A ,2025-09-26

[4]

晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P].

杨峰 ;

林瑶 ;

王明明 ;

韩永琪 .

中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28

[5]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[6]

一种晶圆缺陷检测系统及方法 [P].

杨青 ;

王智 ;

庞陈雷 ;

徐良 ;

殷源 ;

王立强 ;

刘旭 .

中国专利 :CN112505064A ,2021-03-16

[7]

一种超分辨晶圆缺陷检测系统 [P].

王金玉 ;

杜凯 ;

李俊 ;

赵文豪 .

中国专利 :CN114740008A ,2022-07-12

[8]

一种超分辨晶圆缺陷检测系统 [P].

王金玉 ;

杜凯 ;

李俊 ;

赵文豪 .

中国专利 :CN114740008B ,2024-08-02

[9]

一种晶圆缺陷检测方法及系统 [P].

蒋文 ;

蔡梁勇 ;

祝厚全 .

中国专利 :CN120651853A ,2025-09-16

[10]

晶圆缺陷检测系统及方法 [P].

陈鲁 ;

黄有为 ;

崔高增 ;

王天民 .

中国专利 :CN110849900A ,2020-02-28

← 1 2 3 4 5 →