一种晶圆缺陷检测方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510951391.3

申请日：

2025-07-10

公开(公告)号：

CN120651853A

公开(公告)日：

2025-09-16

发明(设计)人：

蒋文蔡梁勇祝厚全

申请人：

深圳市舟鸿半导体科技有限公司

申请人地址：

518103 广东省深圳市宝安区福海街道新田社区征程一路福宁2号502

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/01

代理机构：

深圳市海顺达知识产权代理有限公司 44831

代理人：

赵雪佳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-16	公开	公开
2025-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20250710

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P].

杨峰 ;

林瑶 ;

王明明 ;

韩永琪 .

中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28

[2]

一种晶圆缺陷检测系统和晶圆缺陷检测方法 [P].

陈杰 ;

王冲 ;

陈轮兴 ;

义岚 .

中国专利 :CN120709174A ,2025-09-26

[3]

一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法 [P].

阿民 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN121164314A ,2025-12-19

[4]

一种晶圆的缺陷检测方法及系统 [P].

冯亚 ;

甄福强 .

中国专利 :CN115360116A ,2022-11-18

[5]

晶圆缺陷检测方法及系统 [P].

赵东艳 ;

陈燕宁 ;

吴波 ;

高斌斌 ;

陈一宁 ;

吴永玉 ;

刘芳 ;

邓永峰 ;

郁文 ;

罗宗兰 .

中国专利 :CN119742248A ,2025-04-01

[6]

晶圆缺陷检测光源、设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

夏正浩 ;

张康 ;

林威 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN119715566A ,2025-03-28

[7]

晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 [P].

王曜 ;

李磊 .

中国专利 :CN119715801A ,2025-03-28

[8]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[9]

一种晶圆缺陷检测系统 [P].

郭庆丰 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN223551598U ,2025-11-14

[10]

晶圆缺陷检测系统及方法 [P].

陈鲁 ;

黄有为 ;

崔高增 ;

王天民 .

中国专利 :CN110849900A ,2020-02-28

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