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适用于晶圆清洗设备的摆臂设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422078934.9
申请日：
2024-08-27
公开(公告)号：
CN222966089U
公开(公告)日：
2025-06-10
发明(设计)人：
王铭志
韩之阳
申请人：
先微精艺（苏州）科技有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区鸿禧路32号15幢
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B3/02
B08B13/00
B08B1/12
B08B1/32
代理机构：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357
代理人：
邢彬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-10 | 授权 | 授权 |