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摆臂装置及晶圆清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420603336.6
申请日：
2024-03-27
公开(公告)号：
CN221977906U
公开(公告)日：
2024-11-08
发明(设计)人：
唐广秋
申请人：
苏州市翌科斯拓机电科技有限公司
申请人地址：
215100 江苏省苏州市相城区黄桥街道西木巷街169号A幢一楼103室
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/66
B08B13/00
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
马笑雨
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-10 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移IPC(主分类):H01L 21/687登记生效日:20250523变更事项:专利权人变更前权利人:苏州市翌科斯拓机电科技有限公司变更后权利人:川盈半导体科技（苏州）有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:215100 江苏省苏州市相城区黄桥街道西木巷街169号A幢一楼103室变更后权利人:215100 江苏省苏州市吴中区甪直镇张庆街1号17幢202-1室 |
| 2024-11-08 | 授权 | 授权 |