晶圆清洗固定装置及晶圆清洗设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010114121.4

申请日：

2020-02-21

公开(公告)号：

CN111293060A

公开(公告)日：

2020-06-16

发明(设计)人：

王迪赵宏亮刘豫东刘建民边晓东

申请人：

申请人地址：

100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

杨萌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200221
2020-06-16	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗固定装置及清洗设备 [P].

崔亚东 ;

张文福 ;

高英哲 .

中国专利 :CN107706144A ,2018-02-16

[2]

晶圆背面清洗装置、晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

徐俊成 ;

刘福生 ;

刘效岩 ;

康凯祥 .

中国专利 :CN119426317A ,2025-02-14

[3]

晶圆固定装置及晶圆磨边装置 [P].

黄飞鹏 ;

陈秋绘 ;

赵树明 ;

何宇昆 ;

农利锦 .

中国专利 :CN222986534U ,2025-06-17

[4]

晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P].

惠世鹏 .

中国专利 :CN110473773A ,2019-11-19

[5]

晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P].

金京宰 .

中国专利 :CN118610072A ,2024-09-06

[6]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

丁明正 .

中国专利 :CN114361060A ,2022-04-15

[7]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

丁明正 ;

李亭亭 ;

刘金彪 .

中国专利 :CN112017999A ,2020-12-01

[8]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN111081603B ,2024-02-27

[9]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

何家鑫 ;

何艳红 ;

赵光远 .

中国专利 :CN118751588A ,2024-10-11

[10]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN111081603A ,2020-04-28

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