晶圆清洗固定装置及清洗设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710827546.8

申请日：

2017-09-14

公开(公告)号：

CN107706144A

公开(公告)日：

2018-02-16

发明(设计)人：

崔亚东张文福高英哲

申请人：

申请人地址：

223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167 H01L2102

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-16	公开	公开
2018-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20170914
2020-10-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/687 申请公布日:20180216

共 50 条

[1]

晶圆清洗固定装置及晶圆清洗设备 [P].

王迪 ;

赵宏亮 ;

刘豫东 ;

刘建民 ;

边晓东 .

中国专利 :CN111293060A ,2020-06-16

[2]

一种晶圆清洗固定装置 [P].

徐竹林 ;

徐竹起 ;

徐鹏 .

中国专利 :CN118658823B ,2024-11-05

[3]

一种晶圆清洗固定装置 [P].

徐竹林 ;

徐竹起 ;

徐鹏 .

中国专利 :CN118658823A ,2024-09-17

[4]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

丁明正 .

中国专利 :CN114361060A ,2022-04-15

[5]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

丁明正 ;

李亭亭 ;

刘金彪 .

中国专利 :CN112017999A ,2020-12-01

[6]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN111081603B ,2024-02-27

[7]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN111081603A ,2020-04-28

[8]

晶圆背面清洗装置、晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

徐俊成 ;

刘福生 ;

刘效岩 ;

康凯祥 .

中国专利 :CN119426317A ,2025-02-14

[9]

晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备 [P].

许璐 ;

赵宏宇 ;

王锐廷 ;

徐剑楠 .

中国专利 :CN111883475B ,2024-06-21

[10]

晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备 [P].

许璐 ;

赵宏宇 ;

王锐廷 ;

徐剑楠 .

中国专利 :CN111883475A ,2020-11-03

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