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一种晶圆边缘清洗装置及晶圆清洗设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421473110.5
申请日：
2024-06-26
公开(公告)号：
CN222720360U
公开(公告)日：
2025-04-04
发明(设计)人：
请求不公布姓名 请求不公布姓名 请求不公布姓名
申请人：
江苏芯梦半导体设备有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢（2号厂房）1、2层
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B1/12
代理机构：
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103
代理人：
李萍
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 苏州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-04 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆边缘清洗设备及晶圆边缘清洗方法 [P]. 
张玉静 .
中国专利 :CN112768371A ,2021-05-07
[2]
晶圆边缘清洗设备 [P]. 
张玉静 .
中国专利 :CN211208395U ,2020-08-07
[3]
晶圆背面清洗装置、晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P]. 
徐俊成 ;
刘福生 ;
刘效岩 ;
康凯祥 .
中国专利 :CN119426317A ,2025-02-14
[4]
晶圆边缘清洗装置 [P]. 
云巴图 ;
刘家桦 ;
叶日铨 .
中国专利 :CN209496837U ,2019-10-15
[5]
晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P]. 
金在植 ;
张成根 ;
林锺吉 ;
贺晓彬 ;
刘强 ;
丁明正 .
中国专利 :CN114361060A ,2022-04-15
[6]
晶圆清洗结构、晶圆清洗设备 [P]. 
周尤 ;
姚华东 ;
班恒生 ;
刘柏宏 .
中国专利 :CN223401573U ,2025-09-30
[7]
一种晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P]. 
江伟 ;
尹影 ;
庞浩 ;
徐俊成 .
中国专利 :CN111477537A ,2020-07-31
[8]
晶圆承载装置及晶圆清洗设备 [P]. 
程龙跃 ;
张晓燕 ;
徐融 .
中国专利 :CN118486636A ,2024-08-13
[9]
晶圆清洗设备及其晶圆卡盘、晶圆清洗方法 [P]. 
赵宏宇 ;
李爱兵 ;
王锐廷 .
中国专利 :CN115706044A ,2023-02-17
[10]
一种晶圆清洗设备 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN223092827U ,2025-07-11
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