晶圆边缘清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921908668.0

申请日：

2019-11-06

公开(公告)号：

CN211208395U

公开(公告)日：

2020-08-07

发明(设计)人：

张玉静

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260

代理人：

成丽杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-07	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆边缘清洗设备及晶圆边缘清洗方法 [P].

张玉静 .

中国专利 :CN112768371A ,2021-05-07

[2]

一种晶圆边缘清洗装置及晶圆清洗设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222720360U ,2025-04-04

[3]

晶圆边缘清洗装置 [P].

云巴图 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209496837U ,2019-10-15

[4]

一种晶圆背面边缘区清洗设备 [P].

黄玉辉 .

中国专利 :CN209249434U ,2019-08-13

[5]

晶圆清洗结构、晶圆清洗设备 [P].

周尤 ;

姚华东 ;

班恒生 ;

刘柏宏 .

中国专利 :CN223401573U ,2025-09-30

[6]

晶圆刻蚀清洗设备 [P].

韩鹏帅 ;

李守印 ;

葛永恒 ;

葛林峰 ;

丁双生 .

中国专利 :CN308727731S ,2024-07-12

[7]

晶圆刻蚀清洗设备 [P].

葛威威 ;

王利强 ;

葛林四 ;

申朋举 ;

张利良 .

中国专利 :CN308727732S ,2024-07-12

[8]

晶圆刻蚀清洗设备 [P].

丁高生 ;

葛林海 ;

葛林新 ;

马国权 ;

李杰 .

中国专利 :CN308891908S ,2024-10-18

[9]

晶圆刻蚀清洗设备 [P].

马国权 ;

李杰 ;

丁双生 ;

李守印 ;

韩鹏帅 .

中国专利 :CN308870571S ,2024-10-01

[10]

晶圆刻蚀清洗设备 [P].

李杰 ;

丁高生 ;

葛林海 ;

葛林新 ;

马国权 .

中国专利 :CN308680556S ,2024-06-11

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