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晶圆边缘清洗设备及晶圆边缘清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911078192.7
申请日：
2019-11-06
公开(公告)号：
CN112768371A
公开(公告)日：
2021-05-07
发明(设计)人：
张玉静
申请人：
申请人地址：
230601 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260
代理人：
成丽杰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20191106 |
| 2021-05-07 | 公开 | 公开 |