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一种晶圆背面边缘区清洗设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920034201.1
申请日：
2019-01-09
公开(公告)号：
CN209249434U
公开(公告)日：
2019-08-13
发明(设计)人：
黄玉辉
申请人：
申请人地址：
230601 安徽省合肥市合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
余明伟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-08-13 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆背面边缘区清洗设备及晶圆背面清洗方法 [P]. 
黄玉辉 .
中国专利 :CN111430262A ,2020-07-17
[2]
晶圆边缘清洗设备 [P]. 
张玉静 .
中国专利 :CN211208395U ,2020-08-07
[3]
一种晶圆边缘清洗装置及晶圆清洗设备 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN222720360U ,2025-04-04
[4]
晶圆背面清洗装置 [P]. 
郝静安 ;
舒强 ;
邢滨 .
中国专利 :CN203774251U ,2014-08-13
[5]
晶圆边缘清洗设备及晶圆边缘清洗方法 [P]. 
张玉静 .
中国专利 :CN112768371A ,2021-05-07
[6]
晶圆边缘清洗装置 [P]. 
云巴图 ;
刘家桦 ;
叶日铨 .
中国专利 :CN209496837U ,2019-10-15
[7]
一种晶圆边缘清洗装置 [P]. 
唐强 ;
刘永 .
中国专利 :CN203707094U ,2014-07-09
[8]
一种晶圆清洗设备 [P]. 
陈新来 ;
邓信甫 ;
唐宝国 ;
卢证凯 .
中国专利 :CN217121195U ,2022-08-05
[9]
晶圆背面清洗装置 [P]. 
许忠晖 ;
王东铭 ;
陈嘉勇 ;
杨昱霖 .
中国专利 :CN214099590U ,2021-08-31
[10]
晶圆背面清洗装置 [P]. 
孔德平 ;
胡华勇 .
中国专利 :CN203721680U ,2014-07-16
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