一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置

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专利类型
发明
申请号
CN202211029150.6
申请日
2022-08-25
公开(公告)号
CN115307579B
公开(公告)日
2025-05-09
发明(设计)人
王珊 张滋黎 孟繁昌 纪荣祎 王国名 崔成君 潘映伶 张佳 董登峰 周维虎
申请人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号
G01B11/26
IPC分类号
G01C25/00
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
王文思
法律状态
授权
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置 [P]. 
王珊 ;
张滋黎 ;
孟繁昌 ;
纪荣祎 ;
王国名 ;
崔成君 ;
潘映伶 ;
张佳 ;
董登峰 ;
周维虎 .
中国专利 :CN115307579A ,2022-11-08
[2]
激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统 [P]. 
张滋黎 ;
王珊 ;
孟繁昌 ;
王国名 ;
崔成君 ;
纪荣祎 ;
潘映伶 ;
王博 ;
张佳 ;
董登峰 ;
周维虎 .
中国专利 :CN115371558A ,2022-11-22
[3]
激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统 [P]. 
张滋黎 ;
王珊 ;
孟繁昌 ;
王国名 ;
崔成君 ;
纪荣祎 ;
潘映伶 ;
王博 ;
张佳 ;
董登峰 ;
周维虎 .
中国专利 :CN115371558B ,2025-08-01
[4]
一种激光跟踪仪横轴与竖轴垂直度检测方法 [P]. 
周维虎 ;
张滋黎 ;
劳达宝 ;
袁江 ;
纪荣祎 ;
董登峰 ;
刘鑫 ;
朱涵 ;
李万红 .
中国专利 :CN103884279A ,2014-06-25
[5]
基于自准直仪的两轴稳定转台垂直度误差检测装置 [P]. 
苏文 .
中国专利 :CN204027529U ,2014-12-17
[6]
轴式垂直度误差检测仪 [P]. 
韩玉成 .
中国专利 :CN2275708Y ,1998-03-04
[7]
基于单轴激光陀螺测角仪的多轴转台垂直度误差检测方法 [P]. 
邹伟 ;
黄垚 ;
薛梓 .
中国专利 :CN113899324A ,2022-01-07
[8]
一种激光阶梯轴垂直度检测装置 [P]. 
樊国锋 .
中国专利 :CN108917657A ,2018-11-30
[9]
一种基于激光跟踪干涉仪的三轴转台垂直度和相交度检测方法 [P]. 
金挺 ;
朱进 ;
王瑛辉 ;
仇跃鑫 ;
蔡冲 ;
钟靖 .
中国专利 :CN116659549B ,2024-03-29
[10]
轴的垂直度检测装置 [P]. 
陈康 ;
檀涛 ;
兰宸林 ;
钟华 ;
周训霖 ;
蒋克栋 ;
马飞 .
中国专利 :CN210221075U ,2020-03-31