激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211044029.0

申请日：

2022-08-29

公开(公告)号：

CN115371558B

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

张滋黎王珊孟繁昌王国名崔成君纪荣祎潘映伶王博张佳董登峰周维虎

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G01B11/00

IPC分类号：

G01C15/00 G01C25/00 G01M11/00

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王文思

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-01	授权	授权

共 50 条

[1]

激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统 [P].

张滋黎 ;

王珊 ;

孟繁昌 ;

王国名 ;

崔成君 ;

纪荣祎 ;

潘映伶 ;

王博 ;

张佳 ;

董登峰 ;

周维虎 .

中国专利 :CN115371558A ,2022-11-22

[2]

一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置 [P].

王珊 ;

张滋黎 ;

孟繁昌 ;

纪荣祎 ;

王国名 ;

崔成君 ;

潘映伶 ;

张佳 ;

董登峰 ;

周维虎 .

中国专利 :CN115307579B ,2025-05-09

[3]

一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置 [P].

王珊 ;

张滋黎 ;

孟繁昌 ;

纪荣祎 ;

王国名 ;

崔成君 ;

潘映伶 ;

张佳 ;

董登峰 ;

周维虎 .

中国专利 :CN115307579A ,2022-11-08

[4]

一种检测激光跟踪仪测量误差的方法 [P].

宋洪睿 ;

许耀宇 ;

袁明记 ;

石纯标 ;

韩林 ;

何韬 ;

杜坤 ;

李强 ;

唐强 ;

余泓宇 .

中国专利 :CN117781888A ,2024-03-29

[5]

基于激光跟踪仪的机器人装配误差检测方法 [P].

王梦涛 ;

刘魁星 ;

张敏梁 ;

黄俊仁 .

中国专利 :CN112325804A ,2021-02-05

[6]

一种基于激光跟踪干涉仪的三轴转台垂直度和相交度检测方法 [P].

金挺 ;

朱进 ;

王瑛辉 ;

仇跃鑫 ;

蔡冲 ;

钟靖 .

中国专利 :CN116659549B ,2024-03-29

[7]

一种激光跟踪仪横轴与竖轴垂直度检测方法 [P].

周维虎 ;

张滋黎 ;

劳达宝 ;

袁江 ;

纪荣祎 ;

董登峰 ;

刘鑫 ;

朱涵 ;

李万红 .

中国专利 :CN103884279A ,2014-06-25

[8]

基于多站etalon激光跟踪系统的转台误差检测方法 [P].

陈耀龙 ;

王涛 ;

王骁 ;

张承勇 ;

韩林 .

中国专利 :CN106441117B ,2017-02-22

[9]

激光跟踪仪位置探测器零位安装误差的检测装置和方法 [P].

周维虎 ;

劳达宝 ;

董登峰 ;

张滋黎 ;

纪荣祎 ;

袁江 ;

刘鑫 .

中国专利 :CN104296654B ,2015-01-21

[10]

一种激光跟踪仪跟踪反射转镜与横轴平移误差检测方法 [P].

周维虎 ;

张滋黎 ;

劳达宝 ;

袁江 ;

纪荣祎 ;

董登峰 ;

刘鑫 ;

朱涵 ;

李万红 .

中国专利 :CN103884287B ,2014-06-25

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