一种碳化硅长晶坩埚

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421905802.2

申请日：

2024-08-07

公开(公告)号：

CN222861710U

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

杜林徐旺殷建

申请人：

深圳市海目芯微电子装备科技有限公司

申请人地址：

518110 广东省深圳市龙华区观湖街道鹭湖社区高新园区观盛四路7号翰宇创新产业大楼B栋901

IPC主分类号：

C30B23/00

IPC分类号：

C30B29/36

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

折湘

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅长晶坩埚 [P].

杜林 ;

徐旺 ;

殷建 .

中国专利 :CN118957744A ,2024-11-15

[2]

碳化硅长晶用坩埚 [P].

李加林 ;

李宏刚 ;

刘家朋 ;

李长进 ;

孙元行 ;

刘鹏飞 ;

高超 .

中国专利 :CN209144318U ,2019-07-23

[3]

碳化硅长晶用坩埚和长晶装置 [P].

周文婷 ;

邓欢 .

中国专利 :CN223357830U ,2025-09-19

[4]

一种碳化硅生长坩埚及碳化硅生长装置 [P].

杨光宇 .

中国专利 :CN220550264U ,2024-03-01

[5]

碳化硅长晶装置 [P].

李远田 .

中国专利 :CN120505698A ,2025-08-19

[6]

一种坩埚及碳化硅长晶装置 [P].

杨弥珺 ;

罗烨栋 ;

浩瀚 ;

赵新田 ;

章宣 ;

陈晶莹 .

中国专利 :CN218321743U ,2023-01-17

[7]

一种用于碳化硅长晶热场的石墨坩埚 [P].

徐春良 ;

吕雷英 .

中国专利 :CN213708549U ,2021-07-16

[8]

碳化硅长晶炉 [P].

舒健 ;

李松林 ;

李小平 ;

莫小伟 ;

李建敏 .

中国专利 :CN222666102U ,2025-03-25

[9]

碳化硅长晶设备 [P].

刘景文 ;

柯盛辉 .

中国专利 :CN217149397U ,2022-08-09

[10]

碳化硅长晶装置 [P].

吴安楠 ;

李伟 .

中国专利 :CN120575327A ,2025-09-02

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