一种碳化硅生长坩埚及碳化硅生长装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321645714.9

申请日：

2023-06-26

公开(公告)号：

CN220550264U

公开(公告)日：

2024-03-01

发明(设计)人：

杨光宇

申请人：

通威微电子有限公司

申请人地址：

610299 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内

IPC主分类号：

C30B29/36

IPC分类号：

C30B23/00

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

曹灿

法律状态：

授权

国省代码：

四川省成都市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅生长坩埚及碳化硅生长装置 [P].

姚忠冉 ;

吴国明 ;

林敦 .

中国专利 :CN120989727A ,2025-11-21

[2]

碳化硅生长装置和碳化硅生长炉 [P].

林育仪 .

中国专利 :CN220788875U ,2024-04-16

[3]

一种碳化硅生长装置及碳化硅生长系统 [P].

杨光宇 .

中国专利 :CN220468248U ,2024-02-09

[4]

生长坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P].

吴亚娟 ;

陈俊宏 ;

李兆颖 ;

周来平 .

中国专利 :CN217378098U ,2022-09-06

[5]

碳化硅晶体生长用坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

李京波 ;

夏建白 ;

陈素春 .

中国专利 :CN215404657U ,2022-01-04

[6]

碳化硅生长装置 [P].

许成凯 ;

陈俊宏 ;

李兆颖 .

中国专利 :CN217757756U ,2022-11-08

[7]

碳化硅生长装置 [P].

汪良 ;

张洁 ;

王旻峰 .

中国专利 :CN214572360U ,2021-11-02

[8]

碳化硅单晶生长坩埚 [P].

王旻峰 ;

张洁 ;

汪良 ;

付芬 ;

邓树军 .

中国专利 :CN214572368U ,2021-11-02

[9]

碳化硅晶体生长用坩埚和碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

朱卫祥 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210974929U ,2020-07-10

[10]

碳化硅单晶生长装置 [P].

伍艳 ;

周亮亮 ;

叶磊 ;

王震威 ;

高玉强 .

中国专利 :CN222594075U ,2025-03-11

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