一种碳化硅生长坩埚及碳化硅生长装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202511272279.3
申请日
2025-09-08
公开(公告)号
CN120989727A
公开(公告)日
2025-11-21
发明(设计)人
姚忠冉 吴国明 林敦
申请人
中科超芯(浙江)新材料科技有限公司
申请人地址
314000 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇亚太路778号1号楼201-11室
IPC主分类号
C30B29/36
IPC分类号
C30B11/00
代理机构
深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525
代理人
管锦亮
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种碳化硅生长坩埚及碳化硅生长装置 [P]. 
杨光宇 .
中国专利 :CN220550264U ,2024-03-01
[2]
一种碳化硅生长装置及碳化硅生长系统 [P]. 
杨光宇 .
中国专利 :CN220468248U ,2024-02-09
[3]
碳化硅生长装置和碳化硅生长炉 [P]. 
林育仪 .
中国专利 :CN220788875U ,2024-04-16
[4]
碳化硅生长装置 [P]. 
许成凯 ;
陈俊宏 ;
李兆颖 .
中国专利 :CN217757756U ,2022-11-08
[5]
碳化硅生长装置 [P]. 
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN116288678B ,2024-01-23
[6]
碳化硅生长装置 [P]. 
卢伟群 ;
隋占仁 ;
皮孝东 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN120026395A ,2025-05-23
[7]
碳化硅生长装置 [P]. 
汪良 ;
张洁 ;
王旻峰 .
中国专利 :CN214572360U ,2021-11-02
[8]
碳化硅晶体生长用坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P]. 
徐良 ;
蓝文安 ;
刘建哲 ;
余雅俊 ;
李京波 ;
夏建白 ;
陈素春 .
中国专利 :CN215404657U ,2022-01-04
[9]
碳化硅单晶生长坩埚 [P]. 
王旻峰 ;
张洁 ;
汪良 ;
付芬 ;
邓树军 .
中国专利 :CN214572368U ,2021-11-02
[10]
一种碳化硅生长装置 [P]. 
宋生 ;
宗艳民 ;
于国建 ;
窦文涛 .
中国专利 :CN206624941U ,2017-11-10