一种静电卡盘的内置加热器陶瓷盘的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411906764.7

申请日：

2024-12-24

公开(公告)号：

CN119943736A

公开(公告)日：

2025-05-06

发明(设计)人：

李君李海南石锗元洪元杓陈振宁肖伟

申请人：

君原电子科技（海宁）有限公司

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

C04B35/10 C04B35/581 C04B35/565 C04B35/584 C04B35/622 H05B3/14

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20241224
2025-05-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种静电卡盘陶瓷盘内置气路的制备方法 [P].

李海南 ;

石锗元 ;

李君 ;

胡淑梅 ;

陈振宁 ;

肖伟 .

中国专利 :CN119116108A ,2024-12-13

[2]

一种静电卡盘陶瓷盘的制备方法 [P].

石锗元 ;

闫佳璠 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN119638380A ,2025-03-18

[3]

一种静电卡盘多层互联陶瓷盘的制备方法 [P].

石锗元 ;

李海南 ;

李君 ;

洪元杓 ;

陈振宁 ;

肖伟 .

中国专利 :CN119993894A ,2025-05-13

[4]

加热构件、静电卡盘及陶瓷加热器 [P].

石川敬展 ;

乾靖彦 ;

岐部太一 ;

仓野淳 .

中国专利 :CN106952843A ,2017-07-14

[5]

一种静电卡盘多层共烧陶瓷盘的制备方法 [P].

石锗元 ;

李海南 ;

李君 ;

洪元杓 ;

陈振宁 ;

肖伟 .

中国专利 :CN119797899A ,2025-04-11

[6]

包括加热器装置的静电卡盘 [P].

大高明信 ;

山崎一义 .

中国专利 :CN100444349C ,2006-06-28

[7]

一种高体积电阻率静电卡盘氮化铝陶瓷盘的制备方法 [P].

石锗元 ;

陈超群 ;

李君 ;

肖伟 ;

张倩雯 ;

周俊 .

中国专利 :CN119241252A ,2025-01-03

[8]

一种加热器陶瓷盘烧结模具 [P].

陈庶舒 ;

石锗元 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN222104401U ,2024-12-03

[9]

一种具有低温度依赖性的静电卡盘陶瓷制备方法、静电卡盘陶瓷及静电卡盘 [P].

张迎春 ;

王怀志 ;

陈立航 ;

蒋晓钧 .

中国专利 :CN120040170A ,2025-05-27

[10]

一种复合SiC的氧化铝静电卡盘陶瓷盘烧结方法 [P].

石锗元 ;

周俊 ;

李君 ;

肖伟 ;

张倩雯 ;

陈超群 .

中国专利 :CN119409505A ,2025-02-11

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