一种磁控溅射多尺度数值模拟方法、装置、设备、介质及产品

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510120656.5
申请日
2025-01-24
公开(公告)号
CN120030839A
公开(公告)日
2025-05-23
发明(设计)人
徐书生 任政豪 郑力玮 王港港 乐凯 柳宇震 曹勇宏 刘维民
申请人
烟台先进材料与绿色制造山东省实验室 中国科学院兰州化学物理研究所
申请人地址
264006 山东省烟台市经济技术开发区长江路300号业达科技园研发楼5
IPC主分类号
G06F30/23
IPC分类号
G06F30/10 G06F111/10
代理机构
北京高沃律师事务所 11569
代理人
赵兴华
法律状态
公开
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
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