一种光刻图形误差校正方法及校正装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510234062.7

申请日：

2025-02-28

公开(公告)号：

CN119987154A

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

王星星汤龙洲陈绪东

申请人：

广东依顿电子科技股份有限公司

申请人地址：

528400 广东省中山市三角镇高平化工区

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

广东创合知识产权代理有限公司 44690

代理人：

任海燕

法律状态：

公开

国省代码：

广东省梅州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-13	公开	公开
2025-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250228

共 50 条

[1]

一种误差校正方法、误差校正装置及流量传感系统 [P].

侯铁信 ;

汪毅 ;

金鹏 .

中国专利 :CN111998918A ,2020-11-27

[2]

误差校正方法 [P].

若弗雷·麦克法兰 ;

凯维恩·巴里·乔纳斯 ;

詹姆斯·弗格斯·罗伯逊 ;

尼古拉斯·约翰·韦斯顿 ;

赖清河 .

中国专利 :CN101427100B ,2009-05-06

[3]

阵列误差校正方法、校正装置、校正系统和存储介质 [P].

吴瑞恒 ;

李振刚 ;

杨云 .

中国专利 :CN119846571A ,2025-04-18

[4]

一种血细胞脉冲计数误差校正方法及校正装置 [P].

陈鹏 .

中国专利 :CN114486689B ,2022-05-13

[5]

视觉误差校正方法 [P].

吕绍铨 ;

曾介亭 ;

李闵凯 .

中国专利 :CN104139247A ,2014-11-12

[6]

校正装置及校正方法 [P].

李德华 ;

张明杰 .

中国专利 :CN105444744A ,2016-03-30

[7]

校正装置及校正方法 [P].

廖建硕 .

中国专利 :CN110719728A ,2020-01-21

[8]

校正装置及校正方法 [P].

郭强彬 ;

崔海舰 ;

刘涛 ;

安利营 ;

苏东飞 ;

车婷 ;

闫娟 .

中国专利 :CN118437804A ,2024-08-06

[9]

校正装置及校正方法 [P].

董帮亮 ;

汪兵 .

中国专利 :CN116481446B ,2025-12-12

[10]

校正装置及校正方法 [P].

江敬群 ;

黄奕铭 ;

柳昀呈 ;

张晋纲 .

中国专利 :CN101727244B ,2010-06-09

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