用于真空镀膜设备的载板测温装置、方法以及真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510284672.8

申请日：

2025-03-11

公开(公告)号：

CN120084438A

公开(公告)日：

2025-06-03

发明(设计)人：

黄海宾刘翠翠

申请人：

江西汉可泛半导体技术有限公司

申请人地址：

332020 江西省九江市共青城市高新区火炬五路以北，科技二大道以东（汉可泛半导体智能装备制造产业园一期）厂房

IPC主分类号：

G01J5/00

IPC分类号：

C23C14/50 C23C14/54

代理机构：

北京康隆律师事务所 16232

代理人：

郑剑文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01J 5/00申请日:20250311
2025-06-03	公开	公开

共 50 条

[1]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965B ,2024-08-23

[2]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965A ,2020-07-31

[3]

真空镀膜的真空组件以及真空镀膜设备 [P].

朱冰冰 ;

来华杭 ;

周海龙 ;

俞峰 .

中国专利 :CN211284524U ,2020-08-18

[4]

真空镀膜设备的除尘装置以及真空镀膜设备 [P].

余仕豪 ;

徐建柱 ;

娄国明 ;

沈纬徵 ;

郑博鸿 .

中国专利 :CN221297049U ,2024-07-09

[5]

真空镀膜方法及真空镀膜设备 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194366A ,2024-12-27

[6]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775B ,2024-09-13

[7]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194364A ,2024-12-27

[8]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775A ,2024-07-02

[9]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈益钢 ;

程竞经 .

中国专利 :CN111575652A ,2020-08-25

[10]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

戴晓东 ;

余海春 ;

杨启忠 .

中国专利 :CN118621290A ,2024-09-10

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