一种纳米压印模板及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311466768.3

申请日：

2023-11-06

公开(公告)号：

CN119937239A

公开(公告)日：

2025-05-06

发明(设计)人：

葛海雄杨贵焱王欣宇杨海波谈浩森李洋

申请人：

张江国家实验室

申请人地址：

201210 上海市浦东新区海科路99号

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

李淑彬

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20231106
2025-11-25	授权	授权
2025-05-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种纳米压印模板及其制备方法 [P].

葛海雄 ;

杨贵焱 ;

王欣宇 ;

杨海波 ;

谈浩森 ;

李洋 .

中国专利 :CN119937239B ,2025-11-25

[2]

纳米压印模板胶及其制备方法 [P].

陈廷忠 ;

周兴 ;

王兆民 .

中国专利 :CN119039888A ,2024-11-29

[3]

一种压印模板及其制备方法 [P].

谷新 ;

黄华 .

中国专利 :CN108693700A ,2018-10-23

[4]

纳米压印模板及其制备方法 [P].

朱振东 ;

李群庆 ;

张立辉 ;

陈墨 .

中国专利 :CN101923279A ,2010-12-22

[5]

一种纳米压印模板制备方法 [P].

李东栋 ;

许贞 ;

邓昌凯 ;

马朋莎 ;

王敏 ;

罗晓雷 ;

殷敏 ;

鲁林峰 ;

陈小源 .

中国专利 :CN105824190A ,2016-08-03

[6]

一种纳米压印模板及其制备方法 [P].

何晓龙 ;

关峰 .

中国专利 :CN107121890A ,2017-09-01

[7]

一种纳米压印模板及其制备方法 [P].

谭伟 ;

刘震 ;

郭康 ;

谷新 .

中国专利 :CN110361930A ,2019-10-22

[8]

纳米压印模板、制备方法及采用其的纳米压印设备 [P].

田遵义 ;

陈宗镁 ;

杨海波 ;

谈浩森 .

中国专利 :CN121187069A ,2025-12-23

[9]

纳米压印模板胶及其制备方法 [P].

陈廷忠 ;

周兴 ;

王兆民 .

中国专利 :CN119242246A ,2025-01-03

[10]

纳米压印模板、系统以及压印方法 [P].

程鑫 ;

崔德虎 ;

李自平 ;

明静 ;

张众 .

中国专利 :CN103926789B ,2014-07-16

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