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清洗液及基板的清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380074603.3
申请日：
2023-10-27
公开(公告)号：
CN120113033A
公开(公告)日：
2025-06-06
发明(设计)人：
吴朝逸
和田幸久
申请人：
东京应化工业株式会社
申请人地址：
日本国神奈川县
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
C11D1/00
C11D3/30
C11D3/33
C11D3/43
C11D7/32
代理机构：
上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291
代理人：
毛立群
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-06 | 公开 | 公开 |
| 2025-06-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/304申请日:20231027 |