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清洗液生成装置、清洗液生成方法、基板清洗装置及基板清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310346630.X
申请日：
2013-08-09
公开(公告)号：
CN103579055B
公开(公告)日：
2014-02-12
发明(设计)人：
宫崎邦浩
桧森洋辅
林航之介
安部正泰
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
徐殿军
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-02-12 | 公开 | 公开 |
| 2014-03-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101578338609 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:201310346630X 申请日:20130809 |
| 2016-07-06 | 授权 | 授权 |