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清洗液生成装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010000721.8
申请日：
2020-01-02
公开(公告)号：
CN111180363A
公开(公告)日：
2020-05-19
发明(设计)人：
白靖宇
申请人：
申请人地址：
430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京派特恩知识产权代理有限公司 11270
代理人：
刘恋;张颖玲
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-19 | 公开 | 公开 |
| 2020-06-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200102 |