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清洗液生成装置、清洗-涂布液生成装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080017798.4
申请日：
2020-01-09
公开(公告)号：
CN113646097A
公开(公告)日：
2021-11-12
发明(设计)人：
神田智一
申请人：
申请人地址：
日本埼玉县
IPC主分类号：
B08B308
IPC分类号：
B08B310 C02F1461
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
曾贤伟;郝庆芬
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-11-12 公开 公开
2022-04-19 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/08 申请日:20200109
共 50 条
[1]
清洗液生成装置、清洗-涂布液生成装置 [P]. 
神田智一 .
日本专利 :CN113646097B ,2024-06-04
[2]
清洗液生成装置、清洗液生成方法、基板清洗装置及基板清洗方法 [P]. 
宫崎邦浩 ;
桧森洋辅 ;
林航之介 ;
安部正泰 .
中国专利 :CN103579055B ,2014-02-12
[3]
清洗液生成装置及方法 [P]. 
白靖宇 .
中国专利 :CN111180363A ,2020-05-19
[4]
清洗液生成装置及方法、基板清洗装置及方法 [P]. 
宫崎邦浩 ;
林航之介 .
中国专利 :CN103579053B ,2014-02-12
[5]
一种碱性清洗液生成装置 [P]. 
马满全 ;
韩颖 .
中国专利 :CN218249943U ,2023-01-10
[6]
清洗液生成方法、装置及清洗系统的控制方法、装置 [P]. 
刘洋 ;
张锐 ;
张宏权 ;
刘三祯 ;
王璐 ;
郑琨 .
中国专利 :CN113644009A ,2021-11-12
[7]
工业型强碱性电解水清洗液生成装置 [P]. 
赵星海 .
中国专利 :CN204162542U ,2015-02-18
[8]
清洗液喷射装置和清洗液喷射方法 [P]. 
松坂直树 ;
谷本庆太 ;
藤原诚 ;
熊野晴彦 .
中国专利 :CN107073528A ,2017-08-18
[9]
清洗液过滤装置 [P]. 
沈建新 .
中国专利 :CN208049517U ,2018-11-06
[10]
清洗液循环装置 [P]. 
全明 .
中国专利 :CN201572800U ,2010-09-08
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