轻掺杂漏极缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311684776.5

申请日：

2023-12-07

公开(公告)号：

CN120127018A

公开(公告)日：

2025-06-10

发明(设计)人：

陈守钧

申请人：

成都紫光半导体科技有限公司

申请人地址：

611730 四川省成都市成都高新区尚雅路7号附1号1楼

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

代理机构：

北京英创嘉友知识产权代理有限公司 11447

代理人：

杨月

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20231207
2025-06-10	公开	公开

共 50 条

[1]

双闸极缺陷检测方法 [P].

陈守钧 .

中国专利 :CN120121632A ,2025-06-10

[2]

一种MLCC端电极缺陷检测方法 [P].

薛瑞斌 ;

黄婷婷 ;

周浩宇 ;

唐加能 ;

张美贵 ;

严庆强 ;

刘梦颖 ;

郑成和 ;

顾志伟 .

中国专利 :CN119559138A ,2025-03-04

[3]

形成轻掺杂漏极的方法 [P].

陈坤宏 .

中国专利 :CN1484286A ,2004-03-24

[4]

一种膜电极缺陷检测方法及装置 [P].

叶青 ;

胡晓 ;

宋洁 ;

许可 ;

郭志远 ;

徐桂芝 ;

邓占锋 ;

叶俊 ;

高运兴 .

中国专利 :CN111537532A ,2020-08-14

[5]

轻掺杂漏极的形成方法 [P].

刘兵武 ;

居建华 .

中国专利 :CN101770950B ,2010-07-07

[6]

薄膜电容电极缺陷检测方法、装置、设备及介质 [P].

洪金龙 ;

陈辉 .

中国专利 :CN119151920A ,2024-12-17

[7]

一种源漏轻掺杂方法和装置 [P].

马万里 ;

闻正锋 ;

赵文魁 .

中国专利 :CN104851801A ,2015-08-19

[8]

液晶显示器的像素电极缺陷检测方法及设备 [P].

邱涛 .

中国专利 :CN109545117A ,2019-03-29

[9]

铝膜电极缺陷的检测、断线修补方法及检测装置 [P].

李青 ;

张雄 ;

朱立锋 ;

王保平 ;

林青园 .

中国专利 :CN101051591A ,2007-10-10

[10]

一种电极缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114813914A ,2022-07-29

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