一种具有自动上料功能的晶圆外观缺陷检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421129891.6

申请日：

2024-05-23

公开(公告)号：

CN222965141U

公开(公告)日：

2025-06-10

发明(设计)人：

方廷宇许忠信李庆申杨士林张辉

申请人：

山东强茂电子科技有限公司

申请人地址：

255000 山东省淄博市高新区中润大道186号

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/01

代理机构：

济南泉城专利商标事务所 37218

代理人：

耿媛媛

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆外观缺陷检测装置 [P].

吴子若 .

中国专利 :CN222762125U ,2025-04-15

[2]

一种晶圆外观检测装置 [P].

李林稳 ;

林昌达 ;

郭海兵 ;

曾志东 ;

叶胜浓 .

中国专利 :CN218445079U ,2023-02-03

[3]

一种晶圆竖直缺陷检测装置 [P].

史庆飞 ;

许志彬 ;

兰海燕 ;

李士昌 .

中国专利 :CN223319791U ,2025-09-09

[4]

一种晶圆检测自动上料装置 [P].

丁桃宝 ;

陈沁楠 ;

陈愿 ;

汤荷铭 .

中国专利 :CN121075980A ,2025-12-05

[5]

一种具有自动上料功能的检测装置 [P].

程鹏 .

中国专利 :CN220751802U ,2024-04-09

[6]

一种晶圆检测的自动对位装置 [P].

胡科 .

中国专利 :CN220455183U ,2024-02-06

[7]

一种晶圆外观检测模组及晶圆外观检测设备 [P].

肖治祥 ;

许锐 ;

朱涛 ;

饶兴 .

中国专利 :CN215727778U ,2022-02-01

[8]

一种自动调节光源的模组外观缺陷检测装置 [P].

刘俊涛 ;

王治玺 .

中国专利 :CN218298059U ,2023-01-13

[9]

一种晶圆竖直缺陷检测装置 [P].

史庆飞 ;

许志彬 ;

兰海燕 ;

李士昌 .

中国专利 :CN119164352A ,2024-12-20

[10]

一种晶圆自动装载检测装置 [P].

陈垒 ;

吴沃祖 ;

何升学 ;

孔祥海 .

中国专利 :CN222355085U ,2025-01-14

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