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一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421522498.3
申请日：
2024-07-01
公开(公告)号：
CN222925859U
公开(公告)日：
2025-05-30
发明(设计)人：
刘煜昆
郭明灿
申请人：
潍坊明哲智能科技有限公司
申请人地址：
261000 山东省潍坊市高新区新城街道玉清社区玉清东街以北中心次干道以西高新大厦1211室
IPC主分类号：
F26B5/12
IPC分类号：
F26B25/00
B08B3/04
代理机构：
烟台炳诚专利代理事务所(普通合伙) 37258
代理人：
韩志方
法律状态：
授权
国省代码：
山东省
潍坊市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-30 | 授权 | 授权 |
| 2025-09-09 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移IPC(主分类):F26B 5/12登记生效日:20250825变更事项:专利权人变更前权利人:潍坊明哲智能科技有限公司变更后权利人:深圳市行一帆科技有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:261000 山东省潍坊市高新区新城街道玉清社区玉清东街以北中心次干道以西高新大厦1211室变更后权利人:518048 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区泰然七路25号泰然苍松大厦十层1009G40 |