等离子体反应器、等离子体处理工件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310064701.0

申请日：

2018-05-25

公开(公告)号：

CN115954255B

公开(公告)日：

2025-05-16

发明(设计)人：

梁奇伟斯里尼瓦斯·D·内曼尼

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/3065 C23C16/50 H05H1/46 C23C16/503 C23C16/26 C23C16/455 H01L21/02 H01Q9/40

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-16	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体反应器、等离子体处理工件的方法 [P].

梁奇伟 ;

斯里尼瓦斯·D·内曼尼 .

中国专利 :CN110710056B ,2020-01-17

[2]

等离子体处理装置以及涡流等离子体反应器 [P].

张荣兴 .

中国专利 :CN103028316A ,2013-04-10

[3]

利用等离子体点源的阵列处理工件的等离子体反应器 [P].

K·拉马斯瓦米 ;

L·王 ;

S·莱恩 ;

Y·杨 ;

S·D·耐马尼 ;

P·戈帕尔拉迦 .

中国专利 :CN206546813U ,2017-10-10

[4]

利用等离子体点源的阵列处理工件的等离子体反应器 [P].

K·拉马斯瓦米 ;

L·王 ;

S·莱恩 ;

Y·杨 ;

S·D·耐马尼 ;

P·戈帕尔拉迦 .

中国专利 :CN106558468A ,2017-04-05

[5]

用于等离子体反应器的增强等离子体源 [P].

V·N·托多罗 ;

G·勒雷 ;

M·D·威尔沃斯 ;

L-S·蒋 .

中国专利 :CN105340059A ,2016-02-17

[6]

等离子体反应器 [P].

A·萨拉巴斯 ;

A·A·H·塔哈 ;

D·乔达里 ;

M·克林德沃特 ;

C·埃勒特 .

中国专利 :CN102237247A ,2011-11-09

[7]

等离子体反应器 [P].

G·P·奈特 ;

A·钱伯斯 .

中国专利 :CN101755322B ,2010-06-23

[8]

等离子体反应器 [P].

张婧 ;

厉建祥 ;

张铁 ;

任君朋 ;

孙峰 ;

朱云峰 ;

徐伟 .

中国专利 :CN208577431U ,2019-03-05

[9]

等离子体反应器 [P].

李大勋 ;

金冠泰 ;

宋永焄 ;

车旻锡 ;

李载玉 ;

金释俊 .

中国专利 :CN101972621A ,2011-02-16

[10]

等离子体反应器 [P].

张海洋 ;

王新鹏 .

中国专利 :CN202231939U ,2012-05-23

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